用含有鹵素(氟、氯、溴、碘)的氣體為示漏氣體的檢漏儀器稱(chēng)為ROHS鹵素檢測儀。該類(lèi)儀器分兩類(lèi)：其一為傳感器(即探頭)與被檢件相連接的稱(chēng)為固定式(也稱(chēng)內探頭式)鹵素檢漏儀;
其二為傳感器(即吸槍)在被檢件外部搜索的稱(chēng)為便攜式(也稱(chēng)外探頭式)鹵素檢漏儀。示漏氣體有氟里昂、氯仿、碘仿、四氯化碳等，其中氯里昂12最好。ROHS鹵素檢測儀靈敏度可達3.2×lO-9Pam3/s。
下面讓我們一起來(lái)了解一下ROHS鹵素檢測儀的原理及結構吧
(1)工作原理與結構
金屬鉑在800～900oC溫度下會(huì )發(fā)生正離子發(fā)射，當遇到鹵素氣體時(shí)，這種發(fā)射會(huì )急劇增加。這就是所謂的“鹵素效應”，利用此效應制成的鹵素檢漏儀的結構示意圖如圖8所示。
傳感器是個(gè)二極管，加熱絲、陰極(外筒)、陽(yáng)極(內筒)均用鉑材制成。陽(yáng)極被加熱絲加熱后發(fā)射正離子，被陰極接收的離子流由檢流計(或放大器)指示出來(lái)，且有音響指示。
電氣部分由加熱電源、直流電源、離子流放大器、輸出顯示及便攜式的吸氣裝置電源等組成。
(2)性能測試方法
靈敏度、反應時(shí)間及恢復時(shí)間是鹵素檢漏儀的主要性能參數。其測試方法與氦質(zhì)譜檢漏儀的相同，這里不再贅述。
但是，鹵素檢漏儀的指示與鹵素氣體的濃度有關(guān)：一般，低濃度的指示是線(xiàn)性的，中等濃度的是非線(xiàn)性的，而當濃度很高時(shí)儀器出現飽和或中毒現象。
所以在進(jìn)行性能測試或檢漏時(shí)，進(jìn)入傳感器的鹵素氣體的濃度不宜高于百萬(wàn)分之一。固定式鹵素檢漏儀傳感器應和lO-1～10oPa壓力范圍內工作，壓力過(guò)高或過(guò)低都會(huì )導致儀器靈敏度的下降。
ROHS鹵素檢測儀的傳感器基本上是在大氣壓下工作的，靠吸氣裝置吸入氣體，使鹵素氣體流經(jīng)傳感器。
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